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清洁
烤箱

清洁 烤箱

适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等质料涂胶前的预处置赏罚 烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温 烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等消费 及科研局限 ;无尘工业烤箱还可用于非挥发性及非易燃易爆物品的枯燥 、热处置赏罚 、老化等其他高温 实验 。
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产品 概略

产品 内容先容



产品 特点

PRODUCT FEATURES


       为知足 半导体封装实验 行业对无尘烘烤的需求,深圳香蕉app下载汚app在线下载凭证 行业的运用 习气 、质料特征 、工艺流程等特点研收回 半导体清洁 烤箱。清洁 烤箱主要 经过 空气过滤器来污染 情形 ,阻止 空气中的粗大 颗粒物出来 箱内。箱内空气封锁 自循环,经100级耐高温 高效空气过滤注重 复过滤,使事情室内处于无尘形状 。清洁 烤箱主要 适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等质料涂胶前的预处置赏罚 烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温 烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等消费 及科研局限 。


1、结构 组成:由箱体局限 、电器控制柜、电加热及风道循环系统 组装而成,结构 合理。 

2、密封性设计:全周氩焊,接纳耐高温 硅橡胶无尘密封条隔热,确守密 封性和清洁 度 

3、外部 防尘处置赏罚 :外材质为SPCC钢板经由 粉体喷塑,耐磨不掉尘渣; 

4、高效过滤器:HEPA过滤网结构 清洁 室,99.99%有用 过滤,清洁 度抵达 品级100级;

5、节能:保温材质为高密度纤维,保温节能;

6、分层结构 设计:内箱层板坎坷 可调,可自在 取出;

7、温控仪表:自动控制温度,恒温实时间 控制,设有超温自动停电及报警电路,控制牢靠 ,运用 喧嚣 。

8、电器配件:一切 接纳一线品牌,PID演算的温控系统 和超温掩护装置 ,智能恒温,温差小,适用分别 产品 的长、短烘烤。

 

产品 参数

PRODUCT PARAMETERS


型号

YH-J100-ES-02

温度规模

常温—300℃

温度精度

±1℃

温度匀称 性

±2%(空载)

加热功率

6KW

容积

350L

事情尺寸

(高*宽*深)

910*620*620(mm)

外部 尺寸

(高*宽*深)

1750*855*1030(mm)

过滤器

HEPA耐高温 高效过滤器(CLASS 100)

含氧量规模

1%-100PPM(选配)

升温速率

升温速率可调,空载常温升至175℃约莫30分钟


选配组件

OPTIONAL COMPONENT

半导体烤箱1


               1、法式控温:可设置 法式型温度控制器,完成 多组法式控温。

                2、测温成效 :多点测温审查 及纪录成效 。

                3、风门调治:可加装风量调治装置 ,亦可完成 风门开关法式控制。

                4、温度纪录仪:可设置 多通道温度纪录仪,打印机或RS485接口,监控纪录温度转变 形状 。



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